| Identifikační kód |
RIV/68081731:_____/08:00316633 |
| Název v anglickém jazyce |
High-resolution laser interferometer with stabilized spatial position of laser beams |
| Druh |
D - Stať ve sborníku |
| Jazyk |
eng - angličtina |
| Obor - skupina |
B - Fyzika a matematika |
| Obor |
BH - Optika, masery a lasery |
| Rok uplatnění |
2008 |
| Kód důvěrnosti údajů |
S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku |
4 |
| Počet tvůrců celkem |
5 |
| Počet domácích tvůrců |
5 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců |
Zdeněk Buchta (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 2062976)
Ondřej Číp (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 5467853)
Martin Čížek (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 5629802)
Josef Lazar (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 9233598)
Radek Šmíd (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 7444303) |
| Popis výsledku v anglickém jazyce |
In metrology applications of laser interferometers like a scale calibration of capacitive or inductive sensors, strictly linear positioning of the measuring mirror of the interferometer is necessary. It is maintained usually by a stage, which is based onprinciple of linear guide ways with ball carrier bearings. But possible imperfection of guides of the travel stage can cause deviations of the mirror plane from the right angle to the axis of traveling. Mentioned angle deviations lead to distortion of interference fringes in the output of the interferometer and by other words it causes non-linearity of the interferometer scale. We present a method, which eliminates the problem by a special configuration of the interferometer and continual monitoring ofspatial position of beams in the interferometer when the mirror is positioned. It works with condition that the mirror can be slightly tilted by piezoelectric actuators in servo-loop mode with respect to detected spatial position. |
| Klíčová slova oddělená středníkem |
high resolution interferometry; nanometrology |
| Stránka www, na které se nachází výsledek |
- |
| Odkaz na údaje z výzkumu |
- |