Zpět na hledáníMeasurement of current density distribution in shaped e-beam writers (2014)výskyt výsledku
| Identifikační kód | RIV/68081731:_____/14:00434105 |
|---|---|
| Název v anglickém jazyce | Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers |
| Druh | D - Stať ve sborníku |
| Jazyk | eng - angličtina |
| Obor - skupina | J - Průmysl |
| Obor | JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika |
| Rok uplatnění | 2014 |
| Kód důvěrnosti údajů | S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku | 3 |
| Počet tvůrců celkem | 6 |
| Počet domácích tvůrců | 6 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců | Jan Bok (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 5892457) Miroslav Horáček (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 1259458) Vladimír Kolařík (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 3455599) Stanislav Krátký (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 9640282) Milan Matějka (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 5422043) Michal Urbánek (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 8423350) |
| Popis výsledku v anglickém jazyce | The ZrO W(100) Schottky cathode is used in our e-beam writing system working with a rectangular-shaped electron beam. The homogeneous angular current density distribution is crucial for quality of exposures of the shaped beam lithography systems. Two basic types of the angular emission distribution can be observed in dependence on the microscopic final end form shape of the emitter tip, with bright centre and more common dark centre. The stable operation of the cathode thus stable end form shape requires a delicate balance of parameters inside the gun which however can slightly change during cathode life time. This implies the necessity of analysing and periodical monitoring the current density distribution in e-beam. Four methods enabling this measurement are presented. |
| Klíčová slova oddělená středníkem | e-beam writer; current density |
| Stránka www, na které se nachází výsledek | - |
| Odkaz na údaje z výzkumu | - |
Údaje o výsledku v závislosti na druhu výsledku
| Název sborníku | 18th International Microscopy Congres. Proceedings |
|---|---|
| ISBN | 978-80-260-6720-7 |
| ISSN | - |
| e-ISSN | - |
| Počet stran výsledku | 2 |
| Strana od-do | |
| Název nakladatele | Czechoslovak Microscopy Society |
| Místo vydání | Praha |
| Místo konání akce | Praha |
| Datum konání akce | 07.09.2014 |
| Typ akce podle státní příslušnosti účastníků | WRD - Celosvětová |
| Kód UT WoS článku podle Web of Science | - |
| EID výsledku v databázi Scopus | - |
Ostatní informace o výsledku
| Předkladatel | Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. |
|---|---|
| Dodavatel | AV0 - Akademie věd České republiky (AV ČR ) |
| Rok sběru | 2015 |
| Specifikace | RIV/68081731:_____/14:00434105!RIV15-AV0-68081731 |
| Datum poslední aktualizace výsledku | 18.05.2015 |
| Kontrolní číslo | 152381342 |
Informace o dalších výskytech výsledku dodaného stejným předkladatelem
| Dodáno MŠMT v roce 2015 | RIV/68081731:_____/14:00434105 v dodávce dat RIV15-MSM-68081731/01:1 |
|---|---|
| Dodáno TA ČR v roce 2015 | RIV/68081731:_____/14:00434105 v dodávce dat RIV15-TA0-68081731/02:2 |
Odkazy na výzkumné aktivity, při jejichž řešení výsledek vznikl
| Podpora / návaznosti | Institucionální podpora na rozvoj výzkumné organizace |
|---|