| Identifikační kód |
RIV/68378271:_____/14:00433721 |
| Název v anglickém jazyce |
Measurement of Young?s modulus and volumetric mass density/thickness of ultrathin films utilizing resonant based mass sensors |
| Druh |
J - Recenzovaný odborný článek (Jimp, Jsc a Jost) |
| Poddruh |
- |
| Jazyk |
eng - angličtina |
| Obor - skupina |
J - Průmysl |
| Obor |
JB - Senzory, čidla, měření a regulace |
| Rok uplatnění |
2014 |
| Kód důvěrnosti údajů |
S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku |
2 |
| Počet tvůrců celkem |
3 |
| Počet domácích tvůrců |
2 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců |
Ivo Stachiv (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 6159168)
David Vokoun (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 3040542)
Y.-R. Jeng (státní příslušnost: TW - Čínská republika (Tchaj-wan)) |
| Popis výsledku v anglickém jazyce |
By detecting the resonant frequency shift caused by an attached particle before and after film deposition, the Young?s modulus and either mass density or thickness of a patterned thin film can be determined. Furthermore, for a film characterization, theparticle mass does not need to be known and its attachment position can be either measured or calculated from consecutive resonant frequency shifts: two for bridge and three for cantilever. The applicability of mass sensors in film characterization has been confirmed by comparing predictions with recent experiments. |
| Klíčová slova oddělená středníkem |
functional films; mass sensor; resonant frequency |
| Stránka www, na které se nachází výsledek |
http://scitation.aip.org/content/aip/journal/apl/104/8/10.1063/1.4866417 |
| DOI výsledku |
10.1063/1.4866417 |
| Odkaz na údaje z výzkumu |
- |