| Identifikační kód |
RIV/67985807:_____/22:00567441 |
| Název v anglickém jazyce |
Smart Design of Cz-Ge Crystal Growth Furnace and Process |
| Druh |
J - Recenzovaný odborný článek (Jimp, Jsc a Jost) |
| Poddruh |
J/A - Článek v odborném periodiku je obsažen v databázi Web of Science společností Thomson Reuters s příznakem „Article“, „Review“ nebo „Letter“ (Jimp) |
| Jazyk |
eng - angličtina |
| Vědní obor |
10201 - Computer sciences, information science, bioinformathics (hardware development to be 2.2, social aspect to be 5.8) |
| Rok uplatnění |
2022 |
| Kód důvěrnosti údajů |
S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku |
1 |
| Počet tvůrců celkem |
4 |
| Počet domácích tvůrců |
1 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců |
Martin Holeňa (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 6036627, scopusid: 6602138487, researcherid: C-4958-2014)
N. Dropka (státní příslušnost: DE - Spolková republika Německo)
G. K. Chappa (státní příslušnost: DE - Spolková republika Německo)
X. Tang (státní příslušnost: DE - Spolková republika Německo) |
| Popis výsledku v anglickém jazyce |
The aim of this study was to evaluate the potential of the machine learning technique of decision trees to understand the relationships among furnace design, process parameters, crystal quality, and yield in the case of the Czochralski growth of germanium. The ultimate goal was to provide the range of optimal values of 13 input parameters and the ranking of their importance in relation to their impact on three output parameters relevant to process economy and crystal quality. Training data were provided by CFD modelling. The variety of data was ensured by the Design of Experiments method. The results showed that the process parameters, particularly the pulling rate, had a substantially greater impact on the crystal quality and yield than the design parameters of the furnace hot zone. Of the latter, only the crucible size, the axial position of the side heater, and the material properties of the radiation shield were relevant. |
| Klíčová slova oddělená středníkem |
Czochralski Ge growth;CFD training data;furnace design;process design;regression tree;correlation coefficient |
| Stránka www, na které se nachází výsledek |
https://dx.doi.org/10.3390/cryst12121764 |
| DOI výsledku |
10.3390/cryst12121764 |
| Odkaz na údaje z výzkumu |
- |