Zpět na hledáníTechnologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm (2009)výskyt výsledku
| Identifikační kód | RIV/68081731:_____/09:00336589 |
|---|---|
| Název v původním jazyce | Technologie zápisu elektronovým svazkem proměnné velikosti 66 - 2100 nm |
| Název v anglickém jazyce | E-Beam Writing Technology with Variable Beam Size of 66 - 2100 nm |
| Druh | Z - Poloprovoz, ověřená technologie, odrůda, plemeno |
| Poddruh | Z/B - Ověřená technologie (Ztech) |
| Jazyk | cze - čeština |
| Obor - skupina | J - Průmysl |
| Obor | JP - Průmyslové procesy a zpracování |
| Rok uplatnění | 2009 |
| Kód důvěrnosti údajů | S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku | 1 |
| Počet tvůrců celkem | 10 |
| Počet domácích tvůrců | 7 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců | Miroslav Horáček (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 1259458) Vladimír Kolařík (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 3455599) Stanislav Král (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 1619217) Bohumila Lencová (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 3626733) František Matějka (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 4182170) Milan Matějka (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 5422043) Michal Urbánek (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 8423350) R. Horák (státní příslušnost: CZ - Česká republika) P. Mikšík (státní příslušnost: CZ - Česká republika) J. Vašina (státní příslušnost: CZ - Česká republika) |
| Popis výsledku v původním jazyce | Realizace technologie zápisu elektronovým svazkem obdélníkového tvaru proměnné velikosti, nastavitelné nezávisle v každém směru v rozsahu 66-2100 nm s krokem 33 nm. |
| Popis výsledku v anglickém jazyce | Implementation of electron beam writing technology with a shaped rectangular electron beam of variable size, the beam size being adjusted independently in both axes in the range 66-2100 nm with the step of 33 nm. |
| Klíčová slova oddělená středníkem | electron beam lithography; shaped electron beam |
| Stránka www, na které se nachází výsledek | - |
| Odkaz na údaje z výzkumu | - |
Údaje o výsledku v závislosti na druhu výsledku
| Interní identifikační kód produktu přidělený tvůrcem | 162 410 |
|---|---|
| Číselná identifikace | - |
| Technické parametry | Proudová hustota ve svazku (min ? střed - max): 1,8 ? 3,6 ? 14,4 A/cm2. Otočení souřadnic tvarování, vychylování a posuvu substrátu: -45 stupňů. |
| Ekonomické parametry | Desetkrát vyšší proudová hustota umožňuje zvýšit základní expoziční dobu až desetkrát, což má přímý vliv na produktivitu. Zmenšení velikosti svazku umožňuje dosáhnout vyššího rozlišení, což umožňuje realizovat struktury dříve nerealizovatelné. |
| Kategorie aplikovaného výsledku podle nákladů na jeho vytvoření | A - nižší nebo rovné 5 mil. Kč |
| IČ vlastníka výsledku | 68081731 |
| Název vlastníka | Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v |
| Stát vlastníka | CZ - Česká republika |
| Druh možnosti využití | N - Nabytí licence není nutné (výsledek není licencován) |
| Požadavek na licenční poplatek | - |
| Adresa www stránky s výsledkem | - |
Ostatní informace o výsledku
| Předkladatel | Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. |
|---|---|
| Dodavatel | MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu (MPO) |
| Rok sběru | 2010 |
| Specifikace | RIV/68081731:_____/09:00336589!RIV10-MPO-68081731 |
| Datum poslední aktualizace výsledku | 03.05.2010 |
| Kontrolní číslo | 12329218 |
Odkazy na výzkumné aktivity, při jejichž řešení výsledek vznikl
| Projekt podporovaný MPO v programu FR | FR-TI1/576 - Optimalizace výrobních postupů v elektronové litografii (2009 - 2012) |
|---|