| Identifikační kód |
RIV/68081731:_____/19:00508751 |
| Název v anglickém jazyce |
In-Lens Band-Pass Filter for Secondary Electrons in Ultrahigh Resolution SEM |
| Druh |
J - Recenzovaný odborný článek (Jimp, Jsc a Jost) |
| Poddruh |
J/A - Článek v odborném periodiku je obsažen v databázi Web of Science společností Thomson Reuters s příznakem „Article“, „Review“ nebo „Letter“ (Jimp) |
| Jazyk |
eng - angličtina |
| Vědní obor |
20201 - Electrical and electronic engineering |
| Rok uplatnění |
2019 |
| Kód důvěrnosti údajů |
S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku |
2 |
| Počet tvůrců celkem |
5 |
| Počet domácích tvůrců |
5 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců |
Ivo Konvalina (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 9612653, orcid: 0000-0002-5215-4648, scopusid: 7801460338, researcherid: B-2804-2009)
Stanislav Krátký (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 9640282, orcid: 0000-0002-0850-038X, scopusid: 56405538100, researcherid: D-6833-2012)
Eliška Materna-Mikmeková (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 7759177, researcherid: E-1335-2012)
Filip Mika (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 2999625, scopusid: 16646415100, researcherid: D-5151-2012)
Ilona Müllerová (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 7708017, orcid: 0000-0001-7337-2655, scopusid: 6701646326, researcherid: D-4216-2012) |
| Popis výsledku v anglickém jazyce |
Scanning electron microscopes come equipped with different types of detectors for the collection of signal electrons emitted from samples. In-lens detection systems mostly consist of several auxiliary electrodes that help electrons to travel in a direction towards the detector. This paper aims to show that a through-the-lens detector in a commercial electron microscope Magellan 400 FEG can, under specific conditions, work as an energy band-pass filter of secondary electrons that are excited by the primary beam electrons. The band-pass filter properties verify extensive simulations of secondary and backscattered electrons in a precision 3D model of a microscope. A unique test sample demonstrates the effects of the band-pass filter on final image and contrast with chromium and silver stripes on a silicon substrate, manufactured by a combination of e-beam lithography, wet etching, and lift-off technique. The ray tracing of signal electrons in a detector model predicate that the through-the-lens detector works as a band-pass filter of the secondary electrons with an energy window of about 3 eV. By moving the energy window along the secondary electron energy spectrum curve of the analyzed material, we select the energy of the secondary electrons to be detected. Energy filtration brings a change in contrast in the image as well as displaying details that are not otherwise visible. |
| Klíčová slova oddělená středníkem |
band-pass filter of signal electrons;SE detection;trajectory simulations |
| Stránka www, na které se nachází výsledek |
https://www.mdpi.com/1996-1944/12/14/2307/htm |
| DOI výsledku |
10.3390/ma12142307 |
| Odkaz na údaje z výzkumu |
- |