| Identifikační kód |
RIV/68378271:_____/19:00518879 |
| Název v anglickém jazyce |
Time-resolved optical emission spectroscopy of a unipolar and a bipolar pulsed magnetron sputtering discharge in an argon/oxygen gas mixture with a cobalt target |
| Druh |
J - Recenzovaný odborný článek (Jimp, Jsc a Jost) |
| Poddruh |
J/A - Článek v odborném periodiku je obsažen v databázi Web of Science společností Thomson Reuters s příznakem „Article“, „Review“ nebo „Letter“ (Jimp) |
| Jazyk |
eng - angličtina |
| Vědní obor |
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics) |
| Rok uplatnění |
2019 |
| Kód důvěrnosti údajů |
S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku |
4 |
| Počet tvůrců celkem |
4 |
| Počet domácích tvůrců |
4 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců |
Martin Čada (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 9254927, orcid: 0000-0001-6826-983X, researcherid: C-9453-2009)
Rainer Hippler (státní příslušnost: DE - Spolková republika Německo, domácí tvůrce: A)
Zdeněk Hubička (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 2296268, orcid: 0000-0002-4051-057X, researcherid: H-1563-2014)
Vítězslav Straňák (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 2559390, researcherid: H-2310-2014) |
| Popis výsledku v anglickém jazyce |
Reactive high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) of a cobalt cathode in pure argon gas and with different oxygen admixtures was investigated by time-resolved optical emission spectroscopy (OES) and time-integrated energy-resolved mass spectrometry. The HiPIMS discharge was operated with a bipolar pulsed power supply capable of providing a large negative voltage with a typical pulse width of 100 μs followed by a long positive pulse with a pulse width of about 350 μs. The HiPIMS plasma in pure argon is dominated by Co+ ions. With the addition of oxygen, O+ ions become the second most prominent positive ion species. OES reveals the presence of Ar I, Co I, O I, and Ar II emission lines. The transition from an Ar+ to a Co+ ion sputtering discharge is inferred from time-resolved OES. The enhanced intensity of excited Ar+* ions is explained by simultaneous excitation and ionisation induced by energetic secondary electrons from the cathode. |
| Klíčová slova oddělená středníkem |
magnetron sputtering;HiPIMS;bipolar pulse;time-resolved optical emission spectroscopy;ion mass spectrometry |
| Stránka www, na které se nachází výsledek |
http://hdl.handle.net/11104/0303898 |
| DOI výsledku |
10.1088/1361-6595/ab54e8 |
| Odkaz na údaje z výzkumu |
- |